技術(shù)編號(hào)：7041865
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種超結(jié)半導(dǎo)體器件，包括具有第一表面和平行的第二表面的半導(dǎo)體部分。至少在單元區(qū)域中形成第一導(dǎo)電類型的摻雜層。相反的第二導(dǎo)電類型的柱狀第一超結(jié)區(qū)在垂直于第一表面的方向上延伸。第一導(dǎo)電類型的柱狀第二超結(jié)區(qū)使第一超結(jié)區(qū)彼此分離。第一和第二超結(jié)區(qū)在第一表面和摻雜層之間形成超結(jié)結(jié)構(gòu)。在第一超結(jié)區(qū)和第二表面之間的距離不超過30μm。額定用于低于1000V的反向擊穿電壓的低壓器件的導(dǎo)通狀態(tài)或正向電阻可以通過超結(jié)結(jié)構(gòu)的電阻來定義。專利說明制造超結(jié)半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體器件背景...
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