技術編號：7041764
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種基于標準CMOS工藝的單光子級分辨率傳感器單元結(jié)構(gòu)，該傳感器單元結(jié)構(gòu)使用一種單光子雪崩二極管(SPAD)，其基本結(jié)構(gòu)包括P型硅襯底(4)上方設有深N阱(3)；P阱區(qū)域(2)形成于深N阱(3)上方并且被深N阱(3)包住；陽極接觸(9)通過重摻雜的P型區(qū)域(1)連接到P阱區(qū)域(2)；陰極接觸(10)通過重摻雜的N型區(qū)域(5)連接到N阱區(qū)域(6)以及深N阱(3)；淺溝道隔離區(qū)域(7)位于P阱區(qū)域(2)和N阱區(qū)域(6)之間，將P阱與N阱隔離開；淺溝道隔離區(qū)域(...
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