技術(shù)編號(hào)：7040289
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微電子制造內(nèi)的，其步驟主要包括LaNiO3溶膠的制備，然后采用浸漬提拉法或旋轉(zhuǎn)涂覆法，在基片上制備LaNiO3凝膠膜，再將凝膠膜干燥形成LaNiO3凝膠干膜；然后將覆蓋有LaNiO3凝膠干膜的基片轉(zhuǎn)入石英管式加熱爐中，在H-2O、O2混合氣氛下進(jìn)行熱分解；最后將熱分解后的凝膠干膜，連同其基片放入石英管式燒結(jié)爐中，在H2O、O2混合氣氛下進(jìn)行高溫煅燒，最終在基片上形成導(dǎo)電薄膜。該方法形成的導(dǎo)電薄膜的電阻率更低。專利說(shuō)明[0001]本發(fā)明涉及微電子材...
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