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半導(dǎo)體裝置及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7037127

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在使用金屬納米粒子對(duì)導(dǎo)電柱(8)和被接合構(gòu)件即半導(dǎo)體芯片(6)或帶導(dǎo)電圖案的絕緣基板(4)進(jìn)行金屬粒子接合的情況下,通過(guò)將導(dǎo)電柱(8)的前端的底面(12)形成為凹狀,從而能獲得牢固的接合層。專(zhuān)利說(shuō)明 [0001]本發(fā)明涉及搭載半導(dǎo)體芯片且具有導(dǎo)電柱的,尤其涉及以利用金屬納米粒子的金屬粒子接合來(lái)進(jìn)行導(dǎo)電柱的接合的。 背景技術(shù) [0002]圖6是專(zhuān)利文獻(xiàn)I所記載的現(xiàn)有的半導(dǎo)體裝置的結(jié)構(gòu)圖,圖6(a)是整體的主要部分剖視圖,圖6(b)是圖6(a)的B部...
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