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用于臨時(shí)接合超薄晶片的方法和裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7037115

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一種用于臨時(shí)接合第一晶片和第二晶片的方法,包括將第一粘合劑層涂覆在第一晶片的第一表面上,然后固化的第一粘合劑層。接著,將第二粘合劑層涂覆在第二晶片的第一表面上。接著,將第一晶片插入接合器模組內(nèi)并由一個(gè)上卡盤組件保持住第一晶片,使帶有固化的第一粘合劑層的第一表面朝下。接著,將第二晶片插入接合器模組內(nèi)并放置在一個(gè)下卡盤組件上,使第二粘合劑層面朝上并與第一粘合劑層相對(duì)。接著,向上移動(dòng)下卡盤組件,使第二粘合劑層與固化的第一粘合劑層相接觸,然后固化第二粘合劑層。專利...
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