技術(shù)編號(hào):7037003
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種用于對(duì)多個(gè)被處理基片同時(shí)進(jìn)行熱處理的縱向熱處理裝置。更具體地說(shuō),本實(shí)用新型涉及一種縱向熱處理裝置,具有用于使層疊裝載多個(gè)被處理基片的保持件旋轉(zhuǎn)的改進(jìn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。另外,該縱向熱處理裝置,通常用于組裝到半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中使用。在此,半導(dǎo)體處理是指,通過(guò)以規(guī)定的圖案在半導(dǎo)體晶片或玻璃基片等被處理基片上形成半導(dǎo)體層、絕緣層、導(dǎo)電層等,用于制造包括該被處理基片上的半導(dǎo)體器件、或連接到半導(dǎo)體器件上的配線、電極等的結(jié)構(gòu)物而進(jìn)行的各種處理。在半導(dǎo)體器件的制...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。