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固態(tài)圖像拾取裝置及其制造方法、以及電子設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7036435

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本公開(kāi)涉及能夠更可靠地抑制混色的發(fā)生的固態(tài)圖像拾取裝置、用于制造固態(tài)圖像拾取裝置的方法以及電子裝置。在本發(fā)明中,溝槽形成在接收光并生成電荷的多個(gè)PD之間,從而溝槽在具有形成在其中的PD的半導(dǎo)體基板的光接收表面?zhèn)壬祥_(kāi)口,絕緣膜嵌入在溝槽中,并且絕緣膜層壓在半導(dǎo)體基板的背面?zhèn)?。然后,在?duì)應(yīng)溝槽的區(qū)域處形成遮光部,從而遮光部層壓在絕緣膜上,每個(gè)所述遮光部具有朝向半導(dǎo)體基板突出的凸形。本技術(shù)可應(yīng)用于例如背面照射CMOS型固態(tài)圖像拾取元件。專利說(shuō)明固態(tài)圖像拾取裝置及...
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