技術(shù)編號：7033210
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型公開了一種應(yīng)用于激光退火機(jī)器的邊緣保護(hù)裝置，安裝在激光退火機(jī)器的工件臺上方，主要包括一個(gè)邊緣保護(hù)環(huán)和兩根能夠自由升降的連桿，所述邊緣保護(hù)環(huán)兩端分別和兩根連桿的頂部連接，兩根連桿的底部分別通過工件臺兩端的孔與工件臺連接。本實(shí)用新型通過在激光退火機(jī)器的工件臺上增加一個(gè)邊緣保護(hù)環(huán)，遮擋硅片和工件臺邊緣表面，避免了激光高溫照射對硅片和工件臺邊緣以及與硅片鍵合的玻璃或其他支撐器件的損傷，在taiko硅片工藝中，也可以消除由于邊緣厚度差異引起應(yīng)力變化而導(dǎo)致的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。