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具有外延表面粗化層的砷磷化鋁鎵銦發(fā)光二極管的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7033058

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一種具有外延表面粗化層的砷磷化鋁鎵銦發(fā)光二極管,設(shè)有砷化鎵(GaAs)襯底,砷化鎵(GaAs)襯底上設(shè)有布拉格反射層,布拉格反射層上設(shè)有n型限制層,n型限制層上設(shè)有構(gòu)成發(fā)光二極管的核心發(fā)光區(qū)域的多量子阱有源區(qū),多量子阱有源區(qū)上設(shè)有p型限制層;p型限制層上設(shè)有p型磷化鎵(GaP)窗口層,其中,p型磷化鎵(GaP)窗口層上設(shè)有砷磷化鋁鎵(AlxGa1-x?AsyP1-y)表面粗化層;通過上述層結(jié)構(gòu)的相互連接構(gòu)成一發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)。本實用新型通過在外延階段,直接在...
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