技術(shù)編號：7033044
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型公開了一種激光退火裝置，包括激光源，提供一激光束；擴束模塊，位于所述激光束輸出光束的光路上；光束整形模塊，用于使經(jīng)所述光束整形模塊輸出的光束具有均勻的能量密度；平場聚焦鏡，位于所述光束整形模塊輸出光束的光路上，用于聚焦所述光束整形模塊輸出的光束為平頂光斑。本實用新型提出的激光退火裝置及其激光退火方法，通過光學組件調(diào)節(jié)傳輸出能量分布均勻的平頂光斑，其具有退火效率高，均一性好的優(yōu)點，同時提高了晶體排列的激活率，具有更高的加工效果。專利說明激光退火裝置...
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