技術(shù)編號：7030935
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及具有線性C-V特性的低應(yīng)力雙杠桿結(jié)構(gòu)MEMS變?nèi)萜鳎聵O板、驅(qū)動電極和錨點(diǎn)設(shè)置于介質(zhì)襯底上，上極板的兩端部通過扭轉(zhuǎn)梁支撐固定于錨點(diǎn)上，上極板的中間部與下極板相對，上極板的端部與驅(qū)動電極相對；驅(qū)動電極上施加線性增加電壓，上極板的端部向下運(yùn)動，上極板的中間部向上運(yùn)動，上極板與下極板之間的電容值減小，驅(qū)動電極上停止施加線性增加電壓，上極板通過扭轉(zhuǎn)梁的扭轉(zhuǎn)彈力回復(fù)至初始水平狀態(tài)。上極板外端部向下運(yùn)動帶動上極板向上運(yùn)動，上下極板間間距增大，使電容值C隨...
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