技術(shù)編號：7029353
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。相關(guān)申請的交叉引用本申請要求2010年11月22日提交的序列號為12/951，107、名稱為“Method of Forming E-Fuse in Replacement Metal Gate Manufacturing Process，，的美國專利申請 的優(yōu)先權(quán)權(quán)益，這里通過引用將其內(nèi)容整體并入。本發(fā)明總體涉及半導(dǎo)體器件的制造，并且具體地涉及在替換金屬柵極制造工藝中 的電子熔斷器的形成。背景技術(shù)在集成電路(IC)芯片制造領(lǐng)域中，各種有源和無源器件可以制...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。