技術(shù)編號：7028320
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種電力半導(dǎo)體器件，具體涉及一種溝槽型快恢復(fù)二極管?？旎謴?fù)二極管包括襯底和P區(qū)，所述P區(qū)在襯底上形成，共同構(gòu)成PN結(jié)，在所述PN結(jié)的兩側(cè)對稱設(shè)置有溝槽區(qū)；所述襯底為均勻摻雜的N型硅襯底，在所述襯底N-層上生長有氧化層。本實用新型提供的溝槽型快恢復(fù)二極管，是通過濕法腐蝕去除PN結(jié)邊緣彎曲處，消除PN結(jié)曲率導(dǎo)致的電場集中，通過三次光刻工藝即可實現(xiàn)包含鈍化的、反向耐壓接近平行平面結(jié)的高壓二極管，具有制造方式簡單，工藝要求低的特點。專利說明一種溝槽型...
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