技術(shù)編號(hào)：7028253
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及超結(jié)器件和包括所述超結(jié)器件的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)。所述超結(jié)器件包括第一導(dǎo)電類型的漏區(qū)；第二導(dǎo)電類型的體區(qū)；位于所述漏區(qū)和所述體區(qū)之間的漂移區(qū)，所述漂移區(qū)由第一導(dǎo)電類型的第一區(qū)和第二導(dǎo)電類型的第二區(qū)構(gòu)成，所述第一區(qū)和第二區(qū)沿垂直于從所述體區(qū)到所述漏區(qū)的方向的方向交替排列；多個(gè)溝槽柵結(jié)構(gòu)，每個(gè)溝槽柵結(jié)構(gòu)包括從所述體區(qū)的上表面延伸進(jìn)入所述漂移區(qū)中的溝槽和在所述溝槽中的被填充所述溝槽的第一電介質(zhì)層包圍的柵電極；和嵌入所述體區(qū)中的第一導(dǎo)電類型的源區(qū)。沿著所述第一...
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