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氮化物半導(dǎo)體裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7022703

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本發(fā)明涉及氮化物半導(dǎo)體裝置,尤其是涉及具有晶體管構(gòu)造的氮化物半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù)以氮化鎵(GaN)、氮化鋁(AlN)或氮化銦(InN)或它們的混晶體為主成分的氮化物半導(dǎo)體(III族氮化物半導(dǎo)體)是寬帶隙半導(dǎo)體,絕緣擊穿電場(chǎng)大,另外與硅系半導(dǎo)體或砷化鎵(GaAs)系的化合物半導(dǎo)體相比,電子的飽和漂移速度大。因而,在獲得高的電子遷移率的同時(shí),能夠?qū)崿F(xiàn)高耐壓化。進(jìn)而,在以面方位的(0001)面為主面的氮化鋁鎵(AlGaN)與氮化鎵(GaN)等的異質(zhì)界面,由自發(fā)極...
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