技術(shù)編號：7022534
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型提供了一種用于處理基板的腔室，所述腔室包括箍組件，箍組件包括限制環(huán)，該限制環(huán)于該限制環(huán)內(nèi)限定限制區(qū)；及三或更多個升降指，該三或更多個升降指附接于該箍。該三或更多個升降指經(jīng)設(shè)置以支撐在限制環(huán)的內(nèi)容積外的基板。專利說明用于處理基板的腔室[0001]本申請為申請日為2012年2月29日、申請?zhí)枮?01290000091.3、名稱為“用于轉(zhuǎn)移基板及限制自由基的箍組件”的實用新型專利申請的分案申請。[0002]本發(fā)明的實施例大體涉及一種在半導(dǎo)體基板上制造裝...
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