技術(shù)編號(hào):7016416
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開(kāi)了,供給裝置包括主管路,一端通過(guò)總控閥門(mén)連接至工廠冷卻水供給端,另一端連接一排氣支路;主管路并聯(lián)有若干冷卻水輸出口,冷卻水輸出口連接冷卻水支路,冷卻水支路通過(guò)閥門(mén)連接至各冷卻點(diǎn)的供水管路上;排氣支路可作為備用冷卻水支路,通過(guò)閥門(mén)連接至所需冷卻點(diǎn)的供水管路上。本發(fā)明用于半導(dǎo)體熱處理設(shè)備的水冷系統(tǒng),通過(guò)控制模塊執(zhí)行對(duì)各閥門(mén)的啟閉組合模式,可及時(shí)排出管路中累積的空氣,有效避免了殘留空氣對(duì)冷卻水的精確控制造成的不利影響。本裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,控制方法易于操作,...
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