技術(shù)編號:7015493
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了,用以簡化陣列基板的制作工藝流程。所述陣列基板的制作方法包括在襯底基板上制作薄膜晶體管的柵極、有源層、源極和漏極以及第一絕緣層的過程,制作第一絕緣層上的一個或多個接觸孔的過程,以及制作柵線和/或數(shù)據(jù)線的過程;所述第一絕緣層位于所述柵極與所述有源層之間,且覆蓋所述柵線和數(shù)據(jù)線;其中,所述柵極與所述接觸孔采用同一次掩膜、同一次曝光工藝形成;或者所述有源層與與所述接觸孔采用同一次掩膜、同一次曝光工藝形成。專利說明[0001]本發(fā)明涉及顯示,尤其涉及。...
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