技術(shù)編號：7013807
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種晶圓片識別旋轉(zhuǎn)定位吸附臺，解決了現(xiàn)有的倒角設(shè)備中的晶圓片的旋轉(zhuǎn)吸附定位臺存在的結(jié)構(gòu)復(fù)雜和使用不簡便的問題。包括在吸附臺臺板（1）上設(shè)置有軸通過孔，在吸附臺臺板上的軸通過孔下方的吸附臺臺板的下底面上固定設(shè)置有帶座軸承（2）和軸（3），伺服電機（5）的輸出軸通過聯(lián)軸器（6）與軸（3）的下端連接，軸的上端是依次從動密封座（7）和真空導(dǎo)入盒（8）穿過的，在軸的上端部的軸心處設(shè)置有軸中真空氣路（16），在軸的頂端設(shè)置有晶圓片吸附托盤（10），晶圓片吸...
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