技術(shù)編號(hào)：7013607
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種半自動(dòng)晶圓植球設(shè)備，包括底部架臺(tái)，在底部架臺(tái)上設(shè)有晶圓上料/下料機(jī)構(gòu)、晶圓傳送機(jī)械手、晶圓校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)、晶圓搭載臺(tái)、晶圓印刷機(jī)構(gòu)、晶圓植球機(jī)構(gòu)和CCD對(duì)位系統(tǒng)；晶圓上料/下料機(jī)構(gòu)、晶圓傳送機(jī)械手和晶圓校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)沿y軸方向順序設(shè)置在底部架臺(tái)的一端，晶圓搭載臺(tái)、晶圓印刷機(jī)構(gòu)、晶圓植球機(jī)構(gòu)和CCD對(duì)位系統(tǒng)沿x軸方向順序設(shè)置在底部架臺(tái)上，其中的晶圓搭載臺(tái)臨近晶圓傳送機(jī)械手設(shè)置，晶圓植球機(jī)構(gòu)和CCD對(duì)位系統(tǒng)組合在一起臨近晶圓印刷機(jī)構(gòu)設(shè)置。本發(fā)明采用CCD自動(dòng)對(duì)位，保證...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。