技術(shù)編號：7012847
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種半導體擴散設備的石英舟升降裝置，包括驅(qū)動機構(gòu)、支撐件、雙直線導軌、滾珠絲杠、連接板和承載石英舟的升降臂。支撐件橫截面為U形，雙直線導軌直立地對稱設置在支撐件兩側(cè)，滾珠絲杠設置在支撐件中部，其由驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動轉(zhuǎn)動；連接板安裝于滾珠絲杠且與雙直線導軌滑動連接，隨著滾珠絲杠的轉(zhuǎn)動沿雙直線軌道的方向上升或下降；升降臂與連接板固定連接，由連接板的運動帶動上升或下降。本發(fā)明的石英舟升降裝置結(jié)構(gòu)緊湊，受力合理且維護方便。專利說明半導體擴散設備的石英舟升降裝...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。