技術(shù)編號(hào):7012800
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及具有抑制粉末產(chǎn)生功能的半導(dǎo)體制造裝置,用于抑制在制造半導(dǎo)體或液晶顯示器時(shí)從化學(xué)氣相蒸鍍處理腔排出并通過(guò)真空泵的氣體中的反應(yīng)副產(chǎn)物以粉末狀蒸鍍?cè)谂艢夤艿纼?nèi),在前級(jí)管道及排氣管道內(nèi)分別配置加熱組件并一同使用直接及間接加熱方式,從而能夠延長(zhǎng)前級(jí)管道及排氣管道的清洗周期。本發(fā)明的半導(dǎo)體制造裝置包括用于連接處理腔和真空泵之間的前級(jí)管道。排氣管道連接真空泵和洗滌器之間。加熱組件分別配置于前級(jí)管道和排氣管道。專(zhuān)利說(shuō)明具有抑制粉末產(chǎn)生功能的半導(dǎo)體制造裝置[000...
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