技術(shù)編號：7012057
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種太陽能電池拋光工藝，屬于太陽能光伏電池制造。主要特點是電解液采用10~35%濃度的HF溶液，陽極電極直接植入滾輪上，陽極電極和槽體內(nèi)的陰極電極接電源，電流控制在不大于10A，電壓控制在不大于36V，通過滾輪帶液的方式對硅片背面進行拋光處理，滾輪帶液轉(zhuǎn)動的時候陽極電極可與硅片接觸，從而使硅片形成陽極。本發(fā)明工藝較HF/HNO3單面刻蝕拋光效果要好，不僅工藝容易控制，而且由于通入電流增強了化學反應強度，與不通電流工藝相比達到相同刻蝕效果，使用更少...
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