技術編號：7011511
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及利用氣相傳輸沉積工藝來制造光伏器件。背景技術制造光伏器件可以包括沉積半導體層。一些可用的沉積技術(例如，濺射、蒸發(fā))是視線沉積。因此，這些沉積技術對于粗糙表面的保形涂層可能有問題。 附圖說明圖1是沉積系統(tǒng)的示意圖。圖2是沿圖1中的線2-2的方向穿過系統(tǒng)的分配器截取的局部斷開剖視圖。圖3是沿圖2中的線3-3的方向截取的穿過分配器的剖視圖。圖4是沿圖2的線4-4的方向截取的底平面圖，以示出系統(tǒng)的罩的尺寸變化的狹縫開口。圖5是材料供給的示圖。圖6是材料...
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