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一種多晶硅薄膜基板制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7011256

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域,特別涉及一種多晶硅薄膜基板的制作方法,包括在基板上制備非晶硅薄膜;將處理過(guò)的基板穿過(guò)高頻線圈,得到多晶硅薄膜基板。專(zhuān)利說(shuō)明[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域,特別涉及一種多晶硅制作方法。背景技術(shù)[0002]鑒于多晶硅具有高的遷移率(幾十cm2/V.s甚至幾百cm2/V.s)、以及高的光電響應(yīng)效率與穩(wěn)定性,已廣泛應(yīng)用于平板顯示的有源層和高效長(zhǎng)壽命薄膜太陽(yáng)能電池等微電子、光電子器件。優(yōu)質(zhì)的多晶硅材料是獲得良好性能器件的基礎(chǔ),而多晶硅技術(shù)的關(guān)...
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