技術(shù)編號：7006626
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種傳感器器件，所述傳感器器件包括承載感測元件的基板以及在所述基板上用于為所述感測元件提供互連的金屬化堆疊。本發(fā)明還涉及一種制造這種傳感器器件的方法。背景技術(shù)由于半導體技術(shù)的發(fā)展，在集成于單片電路中的傳感器的感測表面上檢測單個捕獲事件變得可行。在PCT專利申請W02009/047703中公開了這種傳感器的示例，其中，捕獲分子形成電容器的絕緣層，電容器的基板分別由導電感測表面和流體樣品(sample)形成。 捕獲事件引起絕緣層的介電常數(shù)的變化，介電...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。