技術編號：7006055
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及薄膜晶體管(Thin Film Transistor, TFT)陣列的制造方法，尤其是涉及用于液晶面板TFT陣列的制造方法。背景技術一個TFT陣列通常包括縱橫交叉的行(柵極)掃描線和列(數(shù)據(jù))掃描線、行掃描線引腳和列掃描線引腳，以及與行掃描線和列掃描線連接的TFT。目前液晶面板TFT陣列制造方法是首先制作出一套TFT陣列所需的掩模板，所述的TFT陣列從陣列互相垂直的二邊引出掃描線引腳；然后，通過多次沉積、掩模板套準后曝光和光刻步驟制造出所需的TF...
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