技術(shù)編號:7005032
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造工藝,且特別涉及CMOS圖像傳感器及制作方法。 背景技術(shù)圖像傳感器是組成數(shù)字?jǐn)z像頭的重要組成部分,根據(jù)器件的不同,可分為電荷耦合器件(CCD)以及互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)器件。其中,電荷耦合器件(CCD)發(fā)展較早,由于其具有高靈敏度、高分辨率以及較出色的噪聲控制性能,常被應(yīng)用于攝影攝像的高端技術(shù)元件中。盡管CCD具有較好的性能表現(xiàn), 然而由于其體積較大、功耗較大,并且無法與現(xiàn)行半導(dǎo)體制造技術(shù)中較為通用的標(biāo)準(zhǔn)工藝流程相兼容,造成其...
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