技術(shù)編號：7003276
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及在磨削半導(dǎo)體晶片等板狀物的磨削裝置中具備的磨削加工工具。 背景技術(shù)磨削如半導(dǎo)體晶片那樣的板狀工件的磨削裝置具備對吸附保持于卡盤工作臺上的板狀物進行磨削的磨削加工構(gòu)件。作為這種磨削加工構(gòu)件，已知由下述部件構(gòu)成的磨削加工構(gòu)件主軸，其以能夠旋轉(zhuǎn)的方式配設(shè)，且沿著鉛直方向延伸；輪座，其安裝于主軸的下端；以及磨輪(磨削加工工具)，其以能夠自由裝卸的方式安裝于輪座(參照專利文獻 1)。上述專利文獻1中公開的磨輪由圓環(huán)形狀的基座部和固定于該基座部的下表面的磨具...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。