技術(shù)編號:7002870
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及能夠降低響應(yīng)失真并且抑制受光靈敏性的降低的半導(dǎo)體受光元件。 背景技術(shù)近年來,伴隨著半導(dǎo)體受光元件的寬頻帶化,存在光吸收層的厚度薄膜化為 0. 5 2μπι并且半導(dǎo)體受光元件的靈敏性降低這樣的問題。因此,公知有為了抑制受光靈敏性的降低而在光吸收層之下設(shè)置有對透過光吸收層的光進(jìn)行反射的多層反射膜的半導(dǎo)體受光元件(例如,參照專利文獻(xiàn)1的圖2)。此外,由于光吸收層的薄膜化,未被光吸收層吸收而透過的入射光的比例增加。該透過的光被襯底下表面的電極反射,該反射...
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