技術(shù)編號：7002734
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù),尤其涉及ー種深溝槽超級PN結(jié)(Super Junction)的制造技木。背景技術(shù)在半導(dǎo)體領(lǐng)域中，用來提高功率MOS性能的超級PN結(jié)(Super Junction)技術(shù)在高壓領(lǐng)域的作用非常顯著。傳統(tǒng)的超級PN結(jié)的制造エ藝中主要是采用深槽刻蝕、外延填充、硅CMP平坦化的方法來實現(xiàn)。 具體地，傳統(tǒng)技術(shù)中形成超級PN結(jié)的方法，包括以下步驟步驟I 在N+襯底硅片上沉積單ー的厚外延層(N型)；步驟2 在該外延層中形成深溝槽，具體地，先生長熱氧...
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