技術(shù)編號：7001756
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種。背景技術(shù)集成電路尤其是超大規(guī)模集成電路中的主要器件是金屬氧化物半導(dǎo)體(MetalOxide Semiconductor,簡稱M0S)。集成電路自發(fā)明以來,其在性能和功能上的進步是突飛猛進的，并且MOS器件的幾何尺寸一直在不斷縮小，目前其特征尺寸已經(jīng)進入納米尺度。如圖I所示為MOS晶體管結(jié)構(gòu)示意圖,所述MOS晶體管包括襯底010,所述襯底010包括正面001及與正面001相對的背面002 ;位于所述襯底010正面001...
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