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氧化銦膜的形成方法、具有氧化銦膜的襯底及半導(dǎo)體元件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7001631

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本發(fā)明涉及利用電淀積工藝形成氧化銦膜的方法,以及利用無電淀積工藝形成氧化銦膜的方法。本發(fā)明還涉及利用無電淀積工藝形成氧化銦膜時(shí)使用的電鍍?nèi)芤?。本發(fā)明還涉及用于半導(dǎo)體元件的配備有所述氧化銦膜的襯底,以及具有所述襯底的半導(dǎo)體元件。半導(dǎo)體元件包括光生伏打元件(包括光電轉(zhuǎn)換元件),自發(fā)光型元件,液晶元件等。背景技術(shù) 氧化銦是非常透明的材料,具有象氧化錫和氧化鋅那樣好的優(yōu)良導(dǎo)電特性。在這方面,在工業(yè)上經(jīng)常采用氧化銦。特別是用于生產(chǎn)在使用時(shí)具有光照和施加電壓部分的半導(dǎo)...
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