技術(shù)編號：6999726
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種潔凈與干燥半導(dǎo)體晶圓的方法與裝置，且特別是有關(guān)于一種使用異丙醇與去離子水的混告劑做為潔凈溶劑來潔凈與干燥半導(dǎo)體晶圓的方法與裝置，其中因為在將異丙醇與去離子水注入至用以進(jìn)行潔凈制作工藝的處理槽之前便將異丙醇與去離子水以正確比率預(yù)先混合，可增加潔凈與干燥效果且潔凈制作工藝中所用的潔凈溶劑可被循環(huán)再使用。在另一潔凈方法中，先進(jìn)行硫酸-雙氧水溶液(Piranha)潔凈步驟以利用硫酸與過氧化氫的混合物而在高溫下去除如感光劑或表面活性劑的有機(jī)污染物；...
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