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制造垂直發(fā)光器件的方法及用于該發(fā)光器件的襯底組件的制作方法技術資料下載

技術編號:6999630

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本發(fā)明一般地涉及發(fā)光器件,更具體地涉及一種提高器件產量和光提取效率的制造垂直發(fā)光器件的方法以及一種用于該垂直發(fā)光器件的襯底組件。背景技術由于缺乏商用氮化物體材料,作為下一代常規(guī)照明光源的氮化物基發(fā)光二極管 (LEDs)目前只好異質外延在諸如藍寶石、碳化硅和硅等異質襯底上。但是,這些襯底限制 LED在高功率領域的應用,因為藍寶石具有較差的散熱性能,而硅和導電碳化硅對可見光不透明。一種克服該限制的方法是將發(fā)光結構轉移到另一具有較好散熱性能的襯底或襯頂上,并且有...
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