技術(shù)編號(hào)：6996458
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及具有硅活性層的半導(dǎo)體器件(例如晶體管)并且特別涉及具有結(jié)晶-無(wú)定形混合硅膜作為其活性層的薄膜晶體管及該薄膜晶體管的制造方法。背景技術(shù)將具有硅活性層的薄膜晶體管(TFT)用于驅(qū)動(dòng)液晶顯示器、有機(jī)電致發(fā)光(EL)顯示器和其他種類(lèi)的顯示裝置的顯示面板的電路中，作為用于這些有源矩陣顯示裝置的基本技術(shù)。在許多情況下，TFT具有無(wú)定形硅層作為其活性層；但是，通常無(wú)定形硅的小的載流子遷移率使得將其作為活性層用于TFT之前有必要通過(guò)激光照射使無(wú)定形硅層熔融并且使...
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