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后段晶圓級(jí)封裝的焊錫凸塊圖案制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6995368

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本發(fā)明涉及一種。背景技術(shù)請(qǐng)參閱圖1所示,典型的晶圓級(jí)生長(zhǎng)焊錫凸塊的制作方法常是先在晶圓1’上將焊錫凸塊置放在焊墊11’(Solder pad master)、焊墊介電層12’(passivation)圖案成形后,先沉積全面的凸塊下金屬13’(UBM)層,之后再以光阻2’覆蓋,并在焊墊11’位置產(chǎn)生開口21’,再在開口21’位置形成焊錫凸塊14’,而上述形成焊錫凸塊的方式有采用電鍍制程、網(wǎng)印或沾浸等方法,而其中網(wǎng)版印刷的方式,在制程的效率上較電鍍制程為佳,但...
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