技術(shù)編號：6994283
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及微電子工藝，尤其涉及。背景技術(shù)砷化鎵基微波單片集成電路(GaAs MMIC)，是在半絕緣的砷化鎵襯底上通過一系列諸如蒸發(fā)、外延生長和腐蝕等半導(dǎo)體工藝制備出無源和有源器件，并連接起來構(gòu)成應(yīng)用于微波/毫米波頻段的功能電路。GaAs麗IC能實現(xiàn)幾乎所有IGHz至IOOGHz通信模塊中的功能，如功率放大器、低噪聲放大器、衰減器、移相器、微波開關(guān)VCO以及混頻器等，其經(jīng)過近四十年的迅速發(fā)展，已經(jīng)成為軍用、民用通信領(lǐng)域的關(guān)鍵組件之一。在所有這些應(yīng)用中，砷化鎵...
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