技術(shù)編號(hào)：6993004
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及使用氧化物半導(dǎo)體的薄膜晶體管(TFT)、該薄膜晶體管的制造方法、包 括該薄膜晶體管的顯示單元和電子裝置。背景技術(shù)在諸如液晶顯示器和有機(jī)EL (電致發(fā)光)顯示器之類的平板顯示器中，硅(Si)材 料在驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管中典型地用作溝道層(有源層)。具體地，硅材料的示例包括非晶Si 和多晶Si。然而，在非晶Si用作溝道層的情況下，盡管能夠容易增加顯示器的尺寸，但載流 子(例如，電子)的遷移率低至大約lcm2/V .s，因而難以實(shí)現(xiàn)顯示器的高性能。同時(shí)，在多...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。