技術(shù)編號(hào)：6990773
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明關(guān)于ー種基板處理裝置以及ー種基板處理方法，更具體而言，是關(guān)于ー種能夠防止基板受熱并有效地收集殘余沉積材料的基板處理裝置及基板處理方法。背景技木太陽能電池(solar cell)系例如通過以下方式制成形成硒(Se)或含Se化合物之一薄膜于一太陽能電池基板上，并將該Se薄膜圖案化成具有一預(yù)定圖案。更具體而言，通過例如化學(xué)氣相沉積(chemical vapor deposition ；CVD)及物理氣相沉積(physicalvapor deposition...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。