技術(shù)編號：6990772
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。所公開的本發(fā)明的涉及。 背景技術(shù)存在大量金屬氧化物，并且這類材料氧化物用于各種應(yīng)用。例如，氧化銦是眾所周知的材料，并且用作液晶顯示器等等中所需的透明電極的材料。一些金屬氧化物具有半導(dǎo)體特性。具有半導(dǎo)體特性的金屬氧化物的示例包括氧化鎢、氧化錫、氧化銦、氧化鋅等。其中各使用這種金屬氧化物來形成溝道形成區(qū)的薄膜晶體管是已知的(例如參見專利文獻1至4、非專利文獻1等)。此外，不僅單成分氧化物而且多成分氧化物被認(rèn)為是金屬氧化物。例如，具有同源系列的^ifeO3 (Z...
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