技術(shù)編號(hào)：6990448
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及離子植入(ion implantation)，尤其涉及用以改良環(huán)狀或袋狀植入的若干溫度下的植入。背景技術(shù)離子植入器(ion implanter)包含離子源(ion source)，用于將氣體或固體材料轉(zhuǎn)換為良好界定的離子束(ion beam)。所述離子束通常經(jīng)質(zhì)量分析以消除非所要的離子物種(ion species)，被加速至所要能量，且被植入至目標(biāo)(target)中。所述離子束可藉由靜電或磁性束掃描(electrostatic or magnet...
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