技術編號：6990281
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體器件的制造方法及背面接合型太陽能電池。特別涉及以高精度且低成本形成背面接合型太陽能電池中的條紋(Stripe)形狀的η型、P型擴散區(qū)域的優(yōu)選的方法。背景技術對于在受光面上不存在電極的背面接合型太陽能電池，具有原理上可期待其具有高轉化效率、從受光面一側觀察到的外觀設計性也優(yōu)異的優(yōu)勢，已經開始實用化。該背面接合型太陽能電池的代表性的截面結構示于圖1，從背面觀察到的平面結構示于圖2。圖1、圖2所示的背面接合型太陽能電池10中，例如在由單晶η型硅形...
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