技術編號：6989907
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一般而言，本發(fā)明系關于制造包含先進晶體管組件的機密集成電路，該晶體管組件包含復雜的閘極電極結構，該閘極電及結構包含精密閘極介電材料(如高k閘極介電材料)及含金屬電極材料。背景技術制造先進的集成電路(如CPU、儲存器件、特殊應用集成電路(ASIC)等)必須根據(jù)特定電路布局在給定的芯片面積上形成大量的電路組件。在各式各樣的電子電路中，場效晶體管代表一種很重要的電路組件類型，其實質(zhì)上決定集成電路的效能。一般而言，目前用于形成場效晶體管的復數(shù)種制程技術，其中，有鑒...
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