技術(shù)編號：6988922
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及包括半導體層的半導體光學器件的制造方法、半導體光學激光元件的制造方法以及半導體光學器件。背景技術(shù)半導體光學器件中包括發(fā)光器件和光接收器件等這樣的進行電-光轉(zhuǎn)換/ 光-電轉(zhuǎn)換的光學器件，以及光導波路、光學開關、隔離器和光子晶體等這樣的進行光信號的傳送等的光學器件。這樣的光學器件具有以半導體層疊結(jié)構(gòu)為主的構(gòu)成，并且有時候在其制造工藝中包含用于改變半導體層疊結(jié)構(gòu)中規(guī)定的半導體層的物理屬性的熱處理工序。例如，在GaAs系半導體激光中，光射出端面由于強的光...
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