技術(shù)編號：6987802
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明大體關(guān)于處理排出液的方法及設(shè)備。 背景技術(shù)在諸如半導(dǎo)體、顯示器、太陽能、或發(fā)光二極管(LED)制造過程中產(chǎn)生的排出液需要在被排放至環(huán)境中之前進行處理。典型的排出液可包括過全氟化碳、氮氧化物等。典型的排出液處理可包括使用燃料(例如，甲烷、丙烷等)來燃燒及(或)熱處理排出液。不幸地，用于燃燒的燃料(例如碳?xì)浠衔锶剂?可能會危害安全，而可導(dǎo)致火災(zāi)或爆炸。再者，碳?xì)浠衔锶剂峡赡苡捎谌紵玫母碑a(chǎn)物(例如氧化碳(Co)、二氧化碳(CO2)等)而非所欲地增加...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。