技術(shù)編號(hào):6987144
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明關(guān)于一種III族氮化物半導(dǎo)體激光元件、及制作III族氮化物半導(dǎo)體激光元件的方法。背景技術(shù)在非專(zhuān)利文獻(xiàn)I中,記載有在c面藍(lán)寶石基板上制作的半導(dǎo)體激光。通過(guò)干式蝕刻形成半導(dǎo)體激光的鏡面。公開(kāi)有激光的共振鏡面的顯微鏡照片,且記載有其端面的粗糙度為約50nm。在非專(zhuān)利文獻(xiàn)2中,記載有在(11-2 2)面GaN基板上制作的半導(dǎo)體激光。通過(guò)干式蝕刻形成半導(dǎo)體激光的鏡面。在非專(zhuān)利文獻(xiàn)3中,記載有氮化鎵系半導(dǎo)體激光。提出有將m面作為裂面(cleavedfacets)...
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