技術(shù)編號:6986742
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于保持一個或多個基板的基板載體,特別是用于在運輸期間以及在具備鍍層工藝和/或者蝕刻工藝的工藝處理室內(nèi)的各個工藝步驟進(jìn)行期間,對太陽能電池晶圓加以保持。背景技術(shù)在利用鍍層工藝和/或者蝕刻工藝處理基板時,要求的是調(diào)整出具體環(huán)境的特殊的溫度與壓力。在此,除了基板的各工藝應(yīng)以技術(shù)上所設(shè)置的方式具體施加影響的表面夕卜,各工藝通常還作用于工藝處理室內(nèi)的所有表面。依照現(xiàn)有技術(shù),嘗試的是以如下方式將基板與裝置系統(tǒng)布置在工藝處理室內(nèi)部,即,使各工藝至少主要作...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。