技術(shù)編號：6986503
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明的實施例涉及襯底支撐件。背景技術(shù) 迄今已經(jīng)在大型玻璃襯底或者玻璃板上制成了薄膜晶體管以用于監(jiān)視器、平面顯示器、太陽能電池、個人數(shù)字助理(PDA)、蜂窩電話等。這些晶體管是通過在真空室內(nèi)順序地沉積包括非晶硅、摻雜和未摻雜的氧化硅、氮化硅等的各種膜而制成的。用于沉積薄膜的一種方法是化學氣相沉積(CVD)。CVD是一種相對高溫的工藝，要求襯底經(jīng)得住約300攝氏度到400攝氏度的溫度，而預(yù)計其更高溫度的工藝超過500攝氏度。CVD膜處理已經(jīng)廣泛地用于在襯底上...
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