技術(shù)編號：6986197
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種制造用于薄膜晶體管的多晶硅或單晶硅半導(dǎo)體膜的方法和裝置， 這些薄膜晶體管用作液晶顯示器和有機EL顯示器的像素開關(guān)和驅(qū)動電路。背景技術(shù)對于用作液晶顯示器和有機EL顯示器的像素開關(guān)和驅(qū)動電路的薄膜晶體管，采 用激光的激光退火被用作低溫工藝中的制造方法的一部分。這個方法將激光照射到形成于 襯底上的非單晶半導(dǎo)體表面，因此局部加熱和融化半導(dǎo)體膜，然后在后續(xù)的冷卻工藝中將 半導(dǎo)體膜結(jié)晶化成為多晶體或者單晶體。結(jié)晶的半導(dǎo)體膜呈現(xiàn)高載流子遷移率，結(jié)果提升 了...
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